以下文章來源于研華智能地球 ,作者小A君
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產(chǎn)品亮點
應用案例
半導體晶圓清洗是半導體制造過程中至關(guān)重要的一環(huán),對設備的精度和可靠性要求極高。某半導體客戶原先使用PLC作為晶圓清洗設備的主控,但該方案價格昂貴,且在擺臂軸變速運動控制方面存在不足,無法滿足復雜運動需求??蛻糇孕虚_發(fā)底層算法后,效果依然不理想。
為應對這一挑戰(zhàn),客戶采用了AMAX-357獨立邊緣控制方案。通過引入AMAX-357和AMAX-5000I/O模塊,每臺清洗腔體實現(xiàn)了獨立控制。即便某一臺腔體出現(xiàn)故障,其他腔體仍能正常運行,確保了整條生產(chǎn)線的連續(xù)性和穩(wěn)定性。同時,AMAX-357通過EtherCAT通訊協(xié)議,輕松實現(xiàn)了高精度的運動控制,大幅降低了系統(tǒng)成本,并有效提升了擺臂軸的控制能力。此外,AMAX-357的邊緣控制設計結(jié)合開放的編程接口,為設備制造商和最終用戶提供了靈活定制、快速迭代的技術(shù)支持。
CIIF智能制造獎是中國國際工業(yè)博覽會(CIIF)的重要組成部分之一,該獎項專注于表彰在智能制造領(lǐng)域展現(xiàn)出卓越技術(shù)創(chuàng)新能力和實踐成果的企業(yè)。